东莞市精捷真空设备有限公司

压电偏转镜

P34系列压电偏转镜是专为较大直径镜片而设计，可加载直径达80mm的镜片，它的差分驱动在较大温度范围内表现出非常出色的角 度定位稳定性。P34系列偏转镜允许顶部平台在具有共同枢轴点（并联运动）的两个正交轴上进行高动态精密偏转运动，多种镜片安装面 可选，以获得对不同镜片材料的热适应。开环、闭环版本可供选择，所有版本都具有亚微弧度分辨率，且倾斜角度大可达6mrad (等于光束偏转12mrd)。

特性：

?  θx, θy二维偏转 ? 大偏转范围6mrad ? 亚毫秒响应时间 ? 闭环定位精度高 ? 温度稳定性高

典型应用

? 图像处理与稳定 ? 激光扫描/光束偏转

? 主动及自适应光学 ? 光学滤波器

? 光束稳定 ? 多角镜的误差修正

可负载大镜片

P34系列压电偏转镜可负载直径达80mm的镜片，实现12mrad 的光束偏转。

高稳定性、线性度及动态性、使用寿命长

芯明天压电俯仰/偏转镜系统是基于平行运动学设计， 两个方向偏转运动共用同一个移动面。内部四个压电促动器 是成对的差分控制，决定了平台俯仰/偏转运动。这使得 P34压电倾斜镜在较大温差变化范围的环境中具有非常优秀 的角度定位稳定性。

内部采用芯明天叠堆型压电促动器可保证高的可靠 性。特殊树脂绝缘使其可抵抗环境湿度及漏电流故障。所以 在可靠性及寿命上远优于传统压电促动器。

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