SEM扫描电镜检测
日本电子JEOL场发射透射电镜F200JEM-F200的外观和操作模式基于“智能化”的理念进行了全新的设计。全新的人机界面使得用户可以专注于电镜观察和分析工作。得益于日本电子在电子光学领域多年的积累,新设备采用了球差电镜的高稳定度的设计理念,该设备的机械稳定度和电气稳定度得以大大改善,从而可以保证更加出色的性能。
JEM-F200 配置肖特基场发射电子,或者冷场发射电子*,高亮度和高稳定性的场发射电子可以极大提高观察和分析效率。
对于冷场电子,可以获得更高亮度和更小能量发散度的电子源,亮度高于8x108A/cm2·sr,能量发散度可以低至0.3eV,在图像质量和分析效果上更胜yichou,更适合行高能量分辨率的EELS分析,可以对样品进行精细的化学结合态分析。
JEM-F200上引入了全新的四级聚光镜设计,可以满足日益增加的各种应用。在这个全新系统的支持下,前两级聚光镜可以控制束斑尺寸和束流强度,其形成的电子東交叉点可以固定在特定的位置,然后通过后两级聚光镜实现照明区域和汇聚角度的控制。除此外,在TEM模式成像中非常重要的平行光照明模式可以像传统电镜一样轻松实现。该系统的使用可以轻松得到高质量的明场和暗场图像。
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