东莞市精捷真空设备有限公司

量测显微镜

系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被*消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。
 

明场图像	暗场图像
微分干涉图像	偏光图像

花岗岩精雕细琢而成的载物台基座增强了测量的可靠性

STM7-LFFEM分析

为了进一步保证测量精度，采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性，使测量可到达亚微米水平，同时确保更大程度地降低误差。

作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量

共聚焦自动对焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠
奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

测量显微镜跟踪系统

设计注重易用性
提供载物台以适合眼下的样本大小
[常见问题]
? 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。
? 目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。
? 由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。
[STM7解决方案]
    共有四种*的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。
? 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。