点击图片查看原图
半导体显微镜
MX-IR/BX-IR半导体红外显微镜
非破坏观察半导体器件内部
随着不断发展的电子设备小型化、超薄化的需求，半导体器件的封装技术也高速进化。使用近红外线显微镜，可以对SiP（System in Package）、三维组装、CSP（Chip Size Package）等用可视观察无法看到的领域进行无损检查和分析。
在倒装芯片的焊接中，组装后的焊接部分和模块无法用可见光检查。但是，如果使用近红外线显微镜，则可以在不破坏封装的前提下，透过硅观察IC芯片内部。只要置于显微镜下，就可以轻松进行不良状况分析。对必需用FIB（Focused Ion Beam）处理位置的也有效。
晶圆级CSP的高温高湿试验导致器件的变化，可以用非接触方式检查。此外，还能可靠的观察铜引线部分的融解和腐蚀引起的漏电、树脂部分的剥离等。
可以用来观察150～300 mm晶圆等的大型样品。只对应反射照明观察。
对应反射光观察和透射光观察。
将物镜等近红外线观察装置搭载于显微镜上，就可以组成红外线观察显微镜。
倒装芯片封装的不良状况无损分析
晶圆级CSP开发的环境试验导致芯片损坏
铝引线部分（内面观察）
焊锡溢出性评价
电极部分（内面观察）
针对不同样品的显微镜产品阵容
MX系列产品（半导体检查型号）
半导体／FPD检查显微镜 MX61
工业检查显微镜 MX51
BX系列产品（标准型号）
研究级全电动系统
金相显微镜 BX61
BXFM（嵌入式设备型号）
小型系统显微镜 BXFM
有关对应的显微镜规格，请参阅各显微镜的具体规格说明。
近红外线观察装置
LMPlan-IR红外线观察用
http://www.nikon-microscope.com/Products-31091385.html