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压电平移台
P83.X一维X向压电宏微复合台，宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。
配套宏动台可以组成1-3维大行程位移台
通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构，宏微复合机构可以与宏动平台配合使用，组成大行程高精度压电平移台。
供货周期
2~3周发货
P83.X一维X向压电宏微复合台参数介绍
P83.X25S
P83.X25K
单位
运动自由度
X
X
行程范围
13mm+28µm
13mm+28µm
粗调+精调
平直度
<3
<3
µm/13mm
重量
500
500
g±5%
壳体材料
钢
钢
外形尺寸（长×宽×高）
114×80×23
114×80×23
mm×mm×mm
手动调节部分-千分尺
粗调行程范围
13
13
mm
粗调分辨率（千分尺）
10
10
µm
导轨
交叉滚柱导轨
交叉滚柱导轨
驱动方式
螺纹副（分厘卡）
螺纹副（分厘卡）
千分尺灵敏度
<2
<2
µm
台面尺寸
65×65
65×65
mm×mm
千分尺读数
10
10
（微米/格）
千分尺螺距
0.5
0.5
mm/rev.
压电驱动精调部分-压电驱动
精调行程范围
0~120 V, Nominal
20
20
µm±20%
-20~150 V, Max
28
28
µm±20%
传感器类型
SGS
-
步进/分辨率
1.5
0.5
nm, typ.
闭环线性度(压电驱动)
0.2
-
%F.S.
重复定位精度
0.1
-
%F.S.
运动方向推力
20
20
N
刚度
2
2
N/µm±20%
承载能力（Z向）*
1000
1000
g
工作温度范围**
-20~80
-20~80
°C
静电容量
1.8
1.8
µF±20%
重量（含载物平台）
400
400
g±5%
出线长
1.5
1.5
m±10mm
传感/电压连接器
LEMO
LEMO
型号
https://www.ybzhan.cn/st16132/product_12104694.html
http://www.coremorrow.cn/Products-12104694.html